제품 라인업
전극 타입부터 전원공급장치, 유틸리티까지 처리 대상과 공정 조건에 맞춰 구성됩니다.
전극 라인업 · ELECTRODE
| 타입 | 시리즈 | 사양 / 특징 | 주요 특성 |
|---|---|---|---|
| G Type | 저온형 | 50 mm/sec @ 3mm gap · 온도 < 40°C | 안정적 양산 성능 · 내구성 가장 높음 · 저온 플라즈마 |
| F Type | 표준형 | G Type 대비 접촉각 성능 동등 이상 · 최고의 가성비 | 시장 최저가 공급 · 동급 이상 처리 효과 · 빠르고 유연한 속도 |
| MAX Type | 신기술 | Gap 5~10mm 사용 가능 또는 150mm/sec @ 3mm | 업계 최초 초고간격 · 동일 효과와 속도 대폭 향상 · 공정 제약 타파 · 세계 최고 성능 |
| JET Type | ONLY AIR | 기존 제품 대비 정전시 온도 60~100°C 낮음 | 저온 JET Plasma · TIP 소모량 낮고 내구성 높음 · 파티클 수량 낮음 · 전원장치 호환성 높음 |
전극 사이즈 맞춤형 제작 : 40mm ~ 3,500mm（대면적 디스플레이 대응 가능）
전원공급장치 · POWER SUPPLY
| 모델명 | 전기사양 | 사이즈 (W×D×H) | 비고 |
|---|---|---|---|
| 1K-220 | 단상 220V 5A · 1KVA | 270×340×140mm | - |
| 2K-220 | 삼상 220V 10A · 2KVA | 480×510×240mm | - |
| 10K-220 | UPS 단상 220V 5A / GPS 삼상 220V 30A · 10KVA | 480×670×450mm | 4채널 이상 커스터마이징 가능 |
유틸리티 & 부속장치 · UT & ETC PART
| 항목 | 설명 | 전기사양 |
|---|---|---|
| 1 Channel Type | 1채널용 유틸리티 박스, 가스 종류·고객 요청에 따라 커스터마이징 가능 | 단상 220V 2A |
| 2 Channel Type | 2채널용 유틸리티 박스, 가스 종류·고객 요청에 따라 커스터마이징 가능 | 단상 220V 2A |
| Ozone Killer | Plasma 전 출력에 적용, Plasma 공정에서 발생하는 오존을 제거 | Ringblower 사양에 따름 |
| 단동기 시스템 | 모듈이 아닌 자체 제작 방식으로 Stage 구동과 Plasma 적용을 함께 구성 | Plasma 시스템에 따름 |
대형 AP Plasma OVERHAUL 서비스
2년 주기 정기 점검·교체로 설비 수명을 연장하고 처리 품질을 안정화합니다.
신품 대비 50~70% 비용 절감 효과가 있습니다.
주요 특징
PLASMA·USC 건식세정 모듈시스템은 다양한 산업 분야에서 요구되는 고품질 표면 처리를 위한 최적의 솔루션입니다.
친환경 건식 세정
화학 약품을 사용하지 않는 건식 공정으로 환경 오염을 최소화하고 작업자의 안전을 보장합니다.
고정밀도
나노미터 수준의 정밀한 표면 처리가 가능하여 반도체, 디스플레이 등 첨단 산업에 적합합니다.
고효율 공정
빠른 처리 속도와 높은 처리량으로 생산성을 극대화하며, 에너지 효율적인 설계로 운영 비용을 절감합니다.
맞춤형 솔루션
고객의 특정 요구사항에 맞게 설계 및 제작되어 다양한 산업 분야와 응용 분야에 최적화된 성능을 제공합니다.
플라즈마 Electrode 독자 기술력
고전압 & 저전력에 효과적인 Inner metal 구현, Ceramic 정밀 설계 & 가공 기술로 박막의 Ceramic 제작, Ceramic Ass’y 기술로 기생방전 0%적용 Plasma 효율 극대화
USC 독자 기술력
실질적으로 공정에서 제품과 Particle의 이격을 발생시키는 Ultra Sonic 발생, S사 검증 TEST 최초 비산율 0% 확보, S社 내부의 USC 공식 TEST 결과 99.9% 이상의 Particle 제거율 검증
PLASMA vs USC 기술 강점 비교
두 가지 주요 건식세정 기술의 특징과 적용 분야를 비교해 보세요.
PLASMA : 전 부품 내부 기술 보유, 가공 사업부 보유, 독자적인 Electrode 기술 보유, 화재 발생 및 감전 사고 0% 안정성, 낮은 온도로 손상 방지
USC : 전 부품 내부 기술 보유, 가공 사업부 보유, 독자적인 Head Slit 기술 보유, 과부하 및 필터 교체 감지, 연기 및 온도 감지, 전기 안전 및 긴급 시스템 장착
PLASMA 제품의 특장점
지티비아이앤씨의 PLASMA 모듈시스템은 최고 수준의 건식 세정 기술을 갖추고 있습니다.
Gas & Air 이동 손실 최소화
Simulation 결과와 내부 Case 형상 구현 기술 적용
공정 Gas 사용량 최소화
전 제품 자체 개발·제작·공급
Power Supply 기술
자체 기술 개발 라인
낮은 Hz, 저전력의 Power Supply 기술 제공
전 제품 자체 개발·제작·공급
전극 내부금속 및 세라믹 기술
연구를 통한 고전압 & 저전력에 효과적인 Inner metal 구현
Ceramic 정밀 설계 & 가공 기술로 박막의 Ceramic 제작
전 제품 자체 개발·제작·공급
USC 제품의 특장점
지티비아이앤씨의 USC 모듈시스템은 최고 수준의 건식 세정 기술을 갖추고 있습니다.
세정 공정 중 초음파 발생
공정 조건에서 정상적인 Ultrasonic 발생
공정에서 제품과 Particle의 이격을 발생시키는 초음파 발생
Narrow Bandwidth 고밀도 주파수 발생
비산율 0%
비산율 0% 확보 및 정식 검증 완료 (S사 검증 TEST)
최초 비산율 0% 확보
자사 제품 : 비산 없음 VS 일본 경쟁사 제품 : 공정 전후면 비산 발생
높은 제거율
높은 제거율 확보 & 검증 완료
99.9% 이상의 Particle 제거율 검증
S社 내부의 USC 공식 TEST 결과 보유
적용 분야
PLASMA·USC 모듈시스템은 다양한 산업 분야에서 활용되며,
지티비아이앤씨는 해외 현지 OEM 비즈니스를 통해 최적화된 건식세정 솔루션을 제공합니다.
반도체 산업
웨이퍼 표면 세정, 포토레지스트 제거, 본딩 전 표면 활성화 등 반도체 제조 공정에 필수적인 솔루션을 제공합니다.
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웨이퍼 표면 세정
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패키징 전 접합면 처리
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미세 패턴 세정
디스플레이 산업
LCD, OLED 패널 제조 과정에서 필요한 표면 처리 및 세정 솔루션으로 디스플레이 품질과 수율을 향상시킵니다.
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유리 기판 표면 처리
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OLED 봉지 전 세정
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터치 패널 접착력 향상
의료기기 산업
의료기기 제조 시 필요한 표면 살균, 접착력 향상, 생체 적합성 개선을 위한 솔루션을 제공합니다.
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임플란트 표면 처리
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카테터 및 튜브 표면 활성화
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의료용 센서 세정
광학 산업
렌즈, 프리즘, 광학 필터 등 정밀 광학 부품의 표면 세정 및 코팅 전처리를 위한 솔루션을 제공합니다.
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렌즈 표면 세정
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코팅 전 표면 활성화
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광학 필터 세정
자동차 전자 부품
자동차 전자 부품 제조 시 필요한 표면 처리 및 접착력 향상을 위한 솔루션으로 내구성과 신뢰성을 높입니다.
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PCB 표면 처리
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커넥터 접촉 저항 개선
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센서 모듈 세정
항공우주 산업
항공우주 부품의 정밀 세정 및 표면 처리를 통해 고신뢰성과 안전성이 요구되는 부품의 품질을 보장합니다.
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정밀 기계 부품 세정
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연료 시스템 부품 처리
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전자 장비 세정
적용 사례
PLASMA·USC 건식세정 모듈시스템이 어떻게 산업에서 활용되고 있는지 확인해보세요.
지티비아이앤씨는 해외 현지 OEM 비즈니스를 통해 최적화된 솔루션을 제공합니다.
산업별 주요 적용 사례
반도체 제조사
웨이퍼 제조 공정에 플라즈마 세정 시스템을 도입하여 포토레지스트 제거 공정의 효율성을 향상시켰습니다.
의료기기 제조사
임플란트 제조 공정에 초음파 세정 시스템을 도입하여 생체 적합성과 표면 품질을 향상시켰습니다.
디스플레이 제조사
OLED 패널 제조 라인에 세정 시스템을 도입하여 대형 기판의 연속 처리 능력을 확보했습니다.
광학 렌즈 제조사
고급 카메라 렌즈 코팅 전 플라즈마 세정 시스템을 도입하여 코팅 품질과 접착력을 향상시켰습니다.
성능 향상 데이터
PLASMA·USC 건식세정 모듈시스템 도입시에 고객사들의 평균적인 성능 향상 지표입니다.
기술 지원
지티비아이앤씨는 제품 도입에서부터 운영, 유지보수까지 해외 현지 및 국내 엔지니어를 통해 전문적인 기술 지원 서비스를 제공합니다.
설치 및 시운전
전문 엔지니어가 현장을 방문하여 장비 설치, 시운전, 초기 설정을 지원
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현장 환경 평가
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장비 설치 및 연결
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초기 공정 최적화
교육 및 훈련
장비 운영자와 유지보수 담당자를 위한 전문적인 교육 프로그램을 제공
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운영자 기본/심화 교육
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유지보수 교육
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공정 최적화 점검 교육
기술 상담
'제품 선정, 공정 최적화, 솔루션' 전문적인 기술 상담 서비스 제공
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공정 컨설팅
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문제 해결 지원
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성능 최적화
유지보수 서비스
'정기 점검, 부품 교체, 성능 최적화' 종합 유지보수 서비스 제공
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정기 점검 및 교정
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부품 교체 및 수리
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시스템 업데이트
기술 문서
제품 매뉴얼, 기술 가이드, 응용 노트 등 다양한 기술 문서를 제공
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사용자 매뉴얼
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공정 가이드
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문제 해결 가이드
애브리케어 서비스
원격 모니터링 및 진단으로 신속한 문제 해결과 지원 서비스를 제공
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원격 진단
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시스템 업데이트 지원
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기술 상담
자주 묻는 질문
자세한 정보와 맞춤형 견적을 원하시면 문의하기를 이용해주세요.
고객사 공급 실적
FAQ
PLASMA와 USC 세정의 차이점은 무엇인가요?
플라즈마 세정은 가스 이온화를 통해 표면의 유기물을 제거하는 방식이며, USC(초음파 세정)는 초음파 진동을 이용해 표면의 입자를 제거하는 방식입니다. 각각 다른 종류의 오염물 제거에 효과적입니다.
장비 도입 시 어떤 준비가 필요한가요?
전력 공급, 가스 라인, 배기 시스템, 설치 공간 등의 기본 인프라가 필요합니다. 정확한 요구사항은 선택하신 모델에 따라 달라지며, 사전 현장 평가를 통해 안내해 드립니다.
맞춤형 솔루션 개발이 가능한가요?
네, 고객의 특정 요구사항에 맞는 맞춤형 시스템 개발이 가능합니다. 공정 요구사항, 처리 대상 부품, 생산량 등을 고려하여 최적화된 솔루션을 제안해 드립니다.
유지보수 주기는 어떻게 되나요?
일반적으로 정기 점검기간 사전 협의를 권장하며, 사용 빈도와 환경에 따라 조정될 수 있습니다. 정기 유지보수 계약을 통해 장비의 안정적인 운영을 보장해 드립니다.